ESCO事業の可能性を調査するための「予備診断(ウォークスルー調査)」と事業の採算性が取れると判断された後に行われる「詳細診断」とに分かれる。予備診断は無料で行っているESCO事業者もあり、所要期間は1〜数日、詳細診断は有料で場合によっては数日〜数か月かかり、計測とデータ解析を行う場合もある。
省エネ診断は、グリーン購入法の役務の調達品目に指定。
また、省エネセンターでは、中小規模の工場・事業場等を対象に無料の省エネ診断サービス(原則1日)を行っている。